Specifiniai plazminių valiklių pritaikymai

Plazminio valymo / ėsdinimo mašinos generuoja plazmą, įdedamos du elektrodus į sandarų indą, kad sukurtų elektrinį lauką. Vakuuminis siurblys naudojamas tam tikram vakuumo lygiui palaikyti. Kadangi dujos vis retėja, atstumas tarp molekulių ir laisvas molekulių ar jonų judėjimas taip pat didėja. Veikiami elektrinio lauko, šie jonai susiduria ir sudaro plazmą. Šie jonai yra labai reaktyvūs, turi pakankamai energijos, kad nutrauktų beveik visus cheminius ryšius, sukeldami chemines reakcijas bet kuriame atvirame paviršiuje. Skirtingos dujų plazmos turi skirtingas chemines savybes. Pavyzdžiui, deguonies plazma labai oksiduojasi, gali oksiduoti fotorezistą, kad susidarytų dujos, taip išgaudamas valymo efektą. Korozinių dujų plazma pasižymi puikia anizotropija, kuri atitinka ėsdinimo reikalavimus. Plazminis gydymas suteikia švytėjimą, todėl vadinasi švytėjimo išskyros.
Plazmos valymo mechanizmas visų pirma priklauso nuo aktyvių plazmos dalelių „aktyvinimo“, kad būtų pašalintos paviršiaus dėmės. Kalbant apie reakcijos mechanizmą, plazmos valymas paprastai apima tokį procesą: neorganinės dujos sužadinamos į plazmos būseną; dujinės medžiagos adsorbuojamos ant kieto paviršiaus; adsorbuotos grupės reaguoja su molekulėmis ant kieto paviršiaus ir susidaro produkto molekulės; produkto molekulės suyra į dujų fazę; o reakcijos likučiai pašalinami nuo paviršiaus.

Svarbiausias plazminio valymo technologijos bruožas yra tai, kad jis gali apdoroti bet kokio tipo substratus, įskaitant metalus, puslaidininkius, oksidus ir daugumą polimerinių medžiagų, tokių kaip polipropilenas, poliesteris, poliimidas, polivinilchloridas, epoksidas ir net politetrafluoretilenas. Jis gali išvalyti tiek visą paviršių, tiek konkrečias sritis, tiek sudėtingas struktūras.